La molecola di SiF4 ha una forma tetraedrica. Questo perché l'atomo di silicio ha quattro elettroni di valenza e ciascuno di questi elettroni è condiviso con un atomo di fluoro. I quattro atomi di fluoro sono disposti attorno all'atomo di silicio in una forma tetraedrica, con ciascun atomo di fluoro che occupa uno dei quattro angoli di un tetraedro.