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    Gli elettroni forniscono una carica elettrica allo strato resistivo

    Credito:Università di Leiden

    I fisici di Leida hanno scoperto una sorprendente interazione tra gli elettroni e uno strato di resist. Il resist sembra caricarsi e scaricarsi a causa degli elettroni in ingresso. Pubblicazione in Lettere di revisione fisica .

    I delicati motivi sui chip per computer e smartphone sono 'scritti' con la luce. Per rendere i chip più potenti, i produttori devono scrivere modelli ancora più piccoli. Per questo richiedono luce con lunghezza d'onda più corta. Per decenni, l'industria dei semiconduttori sta investendo nello sviluppo di una tecnologia basata sulla luce ultravioletta estrema (EUV), con una lunghezza d'onda di 13,5 nanometri, seimila volte più piccola dello spessore di un capello umano.

    La luce EUV non scrive modelli direttamente su un chip, ma prima crea un'esplosione di elettroni. Questa doccia di elettroni scrive quindi il modello sul chip. Nessuno sa esattamente come fanno gli elettroni. Un team di fisici dell'Università di Leiden, ARCNL e IBM studiano questo processo di scrittura saltando la luce EUV e sparando elettroni direttamente su uno strato di resist. Non usano un'intera raffica con un miscuglio di energie diverse, ma usano invece elettroni di un'energia predeterminata. Ciò consente loro di aumentare l'energia passo dopo passo, in modo che possano monitorare da vicino come reagisce il resist ad ogni passaggio.

    I ricercatori hanno trovato un effetto sorprendente. La loro resistenza si è caricata elettricamente, mentre in precedenza si presumeva che il processo di esposizione fosse elettricamente neutro. A volte la carica salta anche bruscamente da negativa a positiva. I ricercatori spiegano questi risultati inaspettati con un modello contenente un pezzo di teoria della catastrofe. Questa branca della matematica spiega ad esempio perché un cane spaventato passa improvvisamente da un comportamento sottomesso a uno aggressivo.

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