Il processo di ionizzazione può essere rappresentato dalla seguente equazione:
Cu(g) + e- ---> Cu+(g) + 2e-
In questa equazione, Cu(g) rappresenta un atomo di rame neutro, e- rappresenta il fascio di elettroni, Cu+(g) rappresenta uno ione di rame caricato positivamente e 2e- rappresenta i due elettroni emessi dall'atomo di rame durante la ionizzazione.
Il processo di ionizzazione elettronica viene generalmente eseguito in una camera a vuoto per evitare che gli ioni entrino in collisione con le molecole d'aria e perdano la loro carica. Gli ioni positivi prodotti vengono poi accelerati da un campo elettrico e separati in base al loro rapporto massa/carica nell'analizzatore di massa.