Danni laser in silice fusa, danni da laser particolarmente ultravioletti, è ancora un problema chiave che limita lo sviluppo di sistemi laser ad alta potenza. Il metodo di lavorazione tradizionale della silice fusa passa attraverso i processi di molatura e lucidatura chimico-meccanica (CMP). Questo metodo richiede molto tempo per ottenere una superficie ultra liscia, ed è facile causare difetti superficiali e sub-superficiali, con conseguente riduzione significativa della soglia di danno superficiale della silice fusa.

Recentemente, un gruppo di ricerca dell'Istituto di ottica e meccanica fine di Shanghai dell'Accademia cinese delle scienze ha combinato incisione chimica e CO ₂ lucidatura laser per la lavorazione della silice fusa macinata. L'attacco chimico è stato utilizzato per aprire i difetti del sottosuolo della silice fusa al suolo. Successivamente, CO ₂ la lucidatura laser è stata applicata per ridurre la ruvidità della superficie.

Questo processo combinato non solo può ottenere in modo efficiente una superficie super-liscia con una bassa rugosità superficiale, ma può anche migliorare la resistenza ai danni della silice fusa. Questo lavoro è stato pubblicato su Lettere di ottica .

Attraverso la morfologia del danno e un'analisi dei difetti, è stato dimostrato che il processo combinato evita l'introduzione di difetti superficiali e sottosuperficiali, compresi i difetti distruttivi, difetti di struttura chimica, ed elementi di impurità mentale fotoattivi, e ottenere silice fusa con una densità di difetto superficiale inferiore, ottenendo così una migliore resistenza ai danni.