Gli strumenti di misurazione dello spessore sono disponibili in tutte le dimensioni e forme, con diversi intervalli e tecniche di misurazione. La misurazione dello spessore è importante in molti settori e ci sono aree come l'aeronautica in cui lo spessore del materiale deve essere molto preciso, altrimenti i risultati potrebbero essere catastrofici. Gli strumenti di misurazione dello spessore possono essere sia meccanici che digitali.
Vernier Caliper
Un calibro a corsoio è uno strumento di misurazione ad alta precisione che può essere utilizzato in più tipi di misure. Può misurare lo spessore, il diametro e persino il diametro interno dei tubi. Consiste di due ganasce per la misurazione dello spessore, due ganasce più piccole per misurare i diametri interni e una maniglia graduata. La ganascia di misurazione dello spessore inferiore è collegata alla mascella inferiore più piccola, e c'è anche un'altra scala sull'intero pezzo. L'insieme scorre sul manico del calibro a corsoio quando si aprono le mascelle per effettuare una misurazione e la combinazione risultante dalle due scale dà la misura precisa. I calibri a corsoio hanno un errore di lettura di 0,05 mm.
Micrometro
Il micrometro è lo strumento di misurazione meccanico più preciso. Consiste di un ditale con una vite rotante in un'estremità e una cornice all'altra estremità. All'interno del ditale, un fuso si muove con la rotazione della vite. L'oggetto da misurare viene inserito nel telaio, tra il mandrino e l'incudine situato all'estremità opposta del telaio, e la vite viene ruotata fino a quando l'oggetto viene fissato tra il mandrino e l'incudine. Ci sono due scale di lettura, una situata sul ditale, e un'altra sul corpo su cui è ruotato il ditale, chiamato la canna. I micrometri hanno un errore di lettura di circa 0,003 mm.
Sistemi di misurazione dello spessore del film
Questi sistemi sono utilizzati per misurare lo spessore di film o altri materiali semiconduttori. La misurazione viene eseguita utilizzando riflessi di luce e un computer per elaborare e visualizzare la lettura. L'intervallo di misurazione dello spessore varia da 1 nm a 1 mm. Questi sistemi sono solitamente utilizzati nei laboratori scientifici e il loro principale svantaggio è il loro prezzo, che può arrivare a decine di migliaia di dollari.