L'atomo di silicio in SiF4 è ibridato sp3. Ciò significa che l'atomo di silicio ha quattro elettroni di valenza, che vengono tutti utilizzati per formare quattro legami singoli con i quattro atomi di fluoro. L'ibridazione sp3 porta alla formazione di quattro orbitali tetraedrici, che sono diretti verso gli angoli di un tetraedro. I quattro atomi di fluoro occupano questi quattro orbitali, formando i quattro legami Si-F.
L'ibridazione sp3 dell'atomo di silicio in SiF4 è anche responsabile della forma tetraedrica della molecola. I quattro orbitali tetraedrici puntano in direzioni diverse e i quattro atomi di fluoro sono posizionati agli angoli di un tetraedro per ridurre al minimo la repulsione tra le coppie di elettroni.
In sintesi, la struttura ibridata sp3 di SiF4 risulta in una geometria molecolare tetraedrica con quattro legami Si-F.